薄膜の熱物性を迅速かつ高精度に測定できる「薄膜熱物性測定装置」の製造・販売

【事業概要】
産業技術総合研究所の物質計測標準研究部門で開発された「パルス光加熱サーモリフレクタンス法による薄膜熱物性測定技術」を実用化し、任意の基板に成膜された厚さ数nm～数10µmの薄膜の熱物性値(熱拡散率、熱浸透率、熱伝導率、界面熱抵抗)を、迅速かつ高精度に測定できる薄膜熱物性測定装置「NanoTR」（写真1）、「PicoTR」（写真2）を開発しました。当社では装置の販売、受託計測･分析サービスを行っております。

世界最高レベルの定量性で、ナノメートル領域での熱物性測定を可能にしました。厚さ数nm～数10μmの金属薄膜や酸化物薄膜、有機薄膜などの熱物性値を迅速かつ高精度に測定する世界初の薄膜熱物性測定装置を開発しています。ナノスケールの熱物性の解明に向けて、先端計測技術の研究・開発を中心に事業を展開しております。